Полуавтоматическая зондовая станция Semishare V8 описание

Полуавтоматическая зондовая станция Semishare V8 - платформа нового поколения (V-серия) для прецизионных электрических измерений полупроводниковых пластин диаметром 2", 4", 6" и 8" (50–200 мм), а также фрагментов пластин и образцов от 4 мм. Платформа V-серии позволяет сконфигурировать зондовую станцию под различные измерительные задачи, включая измерения в широком диапазоне температур, измерения кремниевой фотоники SiPh, Load&Pull измерения, High Power измерения и другие.

V-серия наследует весь функционал X-серии, при этом занимая вдвое меньше места и имея вдвое меньшую массу (650 кг с микроскопом, габариты 800×850×1900 мм). Станция поддерживает установку роботизированного загрузчика для перехода в полностью автоматический режим работы.

Четырёхосевой (X-Y-Z-Theta) высокоточный электроприводной столик оснащён линейными энкодерами (0,1 мкм) на осях X/Y, безлюфтовой передачей на шлифованных шарико-винтовых парах и обеспечивает точность позиционирования ±2 мкм, повторяемость ±1 мкм и максимальную скорость >100 мм/с по осям X/Y. Закрытая микрокамера обеспечивает экранирование ЭМИ >30 дБ, световую изоляцию ≥130 дБ и уровень шума ≤5 мВ п-п, а слой Full-coverage Guard™ минимизирует токи утечки.

ПО FluidX (входит в комплект поставки) поддерживает ручной и полуавтоматический режимы, автоматическое выравнивание (Auto Align), автоизмерение размеров кристаллов, формирование карты пластины (Wafer Map), Bin-сортировку, одноточечное и непрерывное тестирование, экспорт/импорт WaferMap. Интерфейсы управления: RS-232/485, TCP/IP, GPIB.

Ключевые преимущества:

• Компактность и лёгкость: корпус 800×850×1900 мм; масса ~650 кг.

• Высокая точность: разрешение XY 0,1 мкм, повторяемость ±1 мкм, точность ±2 мкм.

• Мощное EMI-экранирование: >30 дБ (3–20 ГГц), световое ослабление ≥130 дБ.

• Широкий температурный диапазон (опция): от −60 °C до +300 °C с охлаждением жидким азотом, равномерность ±1 °C.

• ПО FluidX: Auto Align, Wafer Map, Bin-сортировка, поддержка probe card, многоузловые маршруты.

• Full-coverage Guard™: минимальные токи утечки системы; Guard-слой эквипотенциален чаку.

•  Быстрая смена образца: механизм quick-release чака, виртуальный подъём платформы.

• Расширяемость: до 12 микропозиционеров; поддержка проб карт; опция загрузчика для полностью автоматической конфигурации.

За более подробной информацией и помощью в подборе оборудования Вы можете обращаться к нашим менеджерам любым удобным способом: воспользоваться формой обратной связи на сайте, по телефону: +7 (383) 203-10-00 или по e-mail: info@alfa-instr.ru.