При тестировании и изменении современных электронных устройств со сверхнизким энергопотреблением, требуются прецизионные источники питания с малой величиной выходного тока. Низкие токи создают трудность при измерениях – небольшую величину падения напряжения на тестируемых устройствах. Соответственно, для решения подобных задач оптимально подходят высокоточные источники питания Keithley 6220 или Keithley 6221 в сочетании с нановольтметром Keithley 2182A. Простая схема подключения приборов в такой измерительной системе исключает проблемы связанные с изоляцией и токовыми шумами. Измерительная система Keithley 622x/2182A позволяет осуществлять измерения дельта-методом.

Возможные области применения

• измерение сопротивления в широком диапазоне
• снятие импульсных ВАХ
• измерение дифференциальной проводимости (для нелинейных туннельных устройств и низкотемпературных устройств)
• применение в области нанотехнологий. Измерение сопротивления без рассеивания существенной мощности на тестируемом устройстве, что не приводит к искажениям результатам и порче тестируемых устройств

Дельта-метод

При использовании дельта-метода источник тока меняет полярность и засинхронизированный с ним (через интерфейс TriggerLink) нановольтметр производит замеры на каждой полярности. Смена полярности с частотой 24 Гц исключает влияние постоянной составляющей термо-ЭДС, возникающей при проведении измерений, а также ее временных флуктуаций.

Результат измерения при помощи измерительной системы Keithley 6220/2182A дельта-методом сопротивления 10 мОм при тестовом токе 20 мкА изображен на рисунке