Keysight B1500A — это единственный в своём классе параметрический анализатор, обеспечивающий полный цикл электрической характеризации приборов в одном рабочем пространстве. Прибор охватывает широчайший диапазон измерений: токи от 0,1 фА до 1 А и напряжения от 0,5 мкВ до 200 В — с непревзойдённой точностью и воспроизводимостью результатов. Он позволяет характеризовать любые электронные приборы: полупроводники, активные и пассивные компоненты, материалы — без компромиссов в надёжности измерений.

В основе платформы лежит десятислотовый модульный мейнфрейм с настраиваемой и масштабируемой архитектурой. Широкий выбор сменных модулей позволяет адаптировать прибор под любые текущие и будущие задачи без замены всей платформы: SMU высокой мощности (1 А / 200 В), SMU средней мощности (100 мА / 100 В), SMU высокого разрешения (1 фА / 100 В), импульсный SMU с шириной импульса 50 мкс, многочастотный измеритель ёмкости (CMU, 1 кГц–5 МГц), высоковольтный генератор импульсов (до ±40 В) и генератор произвольных сигналов с быстрым измерением (WGFMU, 200 МВыб/с).

Измерительные возможности

Измерения ВАХ охватывают диапазон от 0,1 фА до 1 А по току и от 0,5 мкВ до 200 В по напряжению. Поддерживаются точечные и развёрточные измерения, временна́я выборка с минимальным периодом 100 мкс, импульсные измерения с шириной импульса от 50 мкс (MCSMU) или от 500 мкс (HPSMU, MPSMU, HRSMU). Применение блока аттосенсора (ASU) снижает разрешение по току до 0,1 фА (100 аА с ASU), что открывает доступ к измерениям единичных наноструктур. Два типа АЦП — высокоточный и высокоскоростной — позволяют выбирать оптимальный режим под конкретную задачу.

Ёмкостные измерения (CV) выполняются в диапазоне частот 1 кГц–5 МГц. Поддерживаются режимы C-V, C-t и C-f. Квазистатические CV-измерения (QS-CV) с компенсацией тока утечки обеспечивают точную оценку параметров затворного диэлектрика и интерфейса Si/SiO₂. Автоматическое переключение между IV и CV с помощью блоков SCUU и GSWU исключает ручную перекоммутацию кабелей.

Импульсные и сверхбыстрые IV-измерения обеспечиваются двумя независимыми модулями. MCSMU выполняет импульсные IV-измерения с шириной импульса от 50 мкс без эффекта нагрузочной линии, с встроенным осциллографическим просмотром формы сигналов. Модуль WGFMU открывает уровень сверхбыстрых транзиентных измерений: скорость выборки 200 МВыб/с, шаг выборки 5 нс, генерация произвольных сигналов с разрешением 10 нс. Этот модуль является промышленным стандартом для прецизионных измерений NBTI/PBTI и RTN (шум случайного телеграфного сигнала).

Генерация высоковольтных импульсов до ±40 В (модуль HV-SPGU) с генерацией произвольных линейных сигналов (ALWG) и разрешением 10 нс предназначена для характеризации ячеек энергонезависимой памяти — с поддержкой двух- и трёхуровневых импульсных схем.

Интеграция в комплексы зондовых измерений — B1500A поддерживает автоматизированную характеризацию совместно с полуавтоматическими зондовыми станциями (Eoulu, MPI, FormFactor). ПО EasyEXPERT group+ управляет зондовой станцией и автоматически формирует статистику по пластине без написания отдельных программ.

EasyEXPERT group+

Программная среда EasyEXPERT group+ работает на встроенной платформе Windows 10 с 15-дюймовым сенсорным экраном или на ПК пользователя и бесплатно устанавливается на неограниченное количество компьютеров в лаборатории.

Более 300 готовых тестов (Application Tests), организованных по типам приборов и задачам, позволяют немедленно приступить к измерениям без программирования. Режим Classic Test воспроизводит привычный интерфейс приборов серии 4155/4156 с расширенными GUI-возможностями. Режим Quick Test обеспечивает автоматический последовательный запуск любой комбинации тестов без написания кода. Режим Tracer Test с управлением поворотной ручкой поддерживает интерактивную характеризацию в реальном времени с возможностью мгновенного перехода к режиму Classic Test. Oscilloscope View даёт возможность просматривать осциллограммы импульсных токов и напряжений прямо в ПО прибора.

Встроенная база данных (workspace) автоматически сохраняет условия тестирования и результаты измерений после каждого теста. ПО поддерживает удалённое управление по LAN, экспорт данных в Excel и форматы изображений, управление матрицами переключения B2200A/B2201A/E5250A, а также работу нескольких пользователей с защитой данных паролем.

Аксессуары CMU и измерителя аттоамперных токов (ASU)

• N1301A-101 SCUU — блок совмещения SMU и CMU для автоматического IV/CV переключения
• N1301A-200 GSWU — блок коммутации экрана для повышения точности CV
• E5288A ASU — измеритель аттоамперных токов: разрешение по току до 100 аА
• 16440A — двухканальный селектор SMU/PGU
• B1531A RSU — удалённая головка для WGFMU
• N1255A — двухканальный блок подключения MCSMU

Комплектация

Стандартная поставка B1500A

Мейнфрейм с 10 слотами и встроенным блоком заземления (GNDU), клавиатура, мышь USB, стилус, кабель питания, лицензия EasyEXPERT group+, конвертер файлов MDM, конвертер настроек 4155/4156.