Для характеризации устройств 5G, терагерцовых датчиков и других компонентов, работающих на сверхвысоких частотах, позиционер A-601 предлагает решение с безупречной механической стабильностью. Его основание крепится винтами, исключая любые смещения – это критично, поскольку длина волны в мм-диапазоне очень мала, и малейшая вибрация приведет к потере контакта или калибровки. Увеличенный диапазон перемещений (X/Y: по 25 мм) позволяет охватить более широкую область, что важно при работе с крупными волноводными зондами или при настройке их относительного положения. Вертикальный ход 13 мм упрощает ввод громоздких зондов сверху. Точность перемещения остается на уровне <2 мкм, несмотря на большую протяженность ходовых винтов, благодаря высокоточному механизму.
A-601 включает theta-ось – ручной поворотный механизм, позволяющий ориентировать миллиметровый пробник вокруг вертикальной оси для оптимальной плоскопараллельности касания. Кроме того, позиционер имеет монтажную плату для модуля расширения диапазона (spread spectrum module) – это специальная съемная пластина, на которой обычно закрепляется выносной ВЧ-модуль (например, модуль удлинения диапазона анализатора, используемый при терагерцовых измерениях). Такая плита обеспечивает стандартизированное крепление и простоту замены или юстировки ммWave-головок.
Модель A-601 предназначена для установки с западной стороны (Запад), что означает использование на левой стороне рабочей области, с направлением пробника «к востоку», т.е. к центру пластины. Как правило, парной к ней служит модель A-602 (Восток) для правой стороны; вместе они позволяют установить два ммWave пробника напротив друг друга для дифференциальных или 2-портовых измерений. A-601 существенно облегчает получение точных и повторяемых измерений в миллиметровом диапазоне – его жесткость и точность минимизируют необходимость частой перенастройки, а конструкция заточена под быстрое достижение требуемого давления контакта и его удержание. Пользователи отмечают возможность достичь стабильного воспроизводимого результата, что особенно важно при калибровке на образцовых структурах и последующем тестировании множества точек на пластине.
Ключевые особенности
✔ Предназначен для mmWave/THz тестов. Специально разработан для работы с миллиметровыми волнами и даже терагерцовыми сигналами, что отражено в конструкции узлов – повышенная жесткость, точность, интеграция с модульными ВЧ-системами.
✔ Bolt-down крепление для стабильности. Прикручиваемое основание исключает сдвиги. За счет этого достигается высокая повторяемость положения – ключевой фактор для калибровок на частотах 60–110 ГГц и выше.
✔ Западная ориентация (Западный). Конфигурация для левой стороны: оптимальна для парного использования с восточно-ориентированным позиционером (A-602). Такое расположение часто применяется при дифференциальных измерениях антенн или при калибровке через встречные контакты (probe-to-probe calibration).
Области применения
Измерения в диапазоне миллиметровых волн: тестирование устройств 5G NR (28 ГГц, 39 ГГц), автомобильных радаров (77 ГГц), WiGig/802.11ad чипов (60 ГГц), а также исследование терагерцовых компонент – A-601 позволяет надежно позиционировать соответствующие зонды и держать их стабильно во время измерения параметров (коэффициентов передачи, диаграмм направленности on-wafer антенн и пр.).
Оптические и терагерцовые эксперименты: подходит для удержания и точной настройки лазерных или терагерцовых излучателей/приемников относительно микроструктур на пластине, когда требуется перемещение в плоскости с микронной точностью и фиксация без вибраций.
Метрологические работы на высоких частотах: A-601 востребован при калибровке ВЧ-оборудования с помощью эталонных методик в диапазоне мм-волн (SOLT, TRL на 110 ГГц и выше). Возможность жестко закрепить зондовый модуль на позиционере и повторно использовать его для множества измерений повышает точность и ускоряет процесс калибровки.
Дифференциальные и многопортовые mmWave тесты: совместно с A-602 и, при необходимости, другими позиционерами, A-601 используется для организации многопортовых измерений (напр., 4-портовой векторный анализатор на 67 ГГц) – лево/право и перед/зад расположение пробников обеспечивает полный доступ к устройству.