A-801 выводит зондирование на новый уровень за счет полной моторизации перемещений по осям X, Y, Z. В конструкции используются прецизионные шаговые, обеспечивающие минимальный шаг перемещения порядка 2 μm и воспроизводимость позиций с высокой точностью. Это означает, что наведение щупа на контактную площадку может выполняться автоматически по командам программного обеспечения – оператор задает координаты, и позиционер перемещается самостоятельно.

Устройство рассчитано на интеграцию в автоматизированные пробные станции: один блок управления K-101 способен координировать работу до двух таких позиционеров одновременно, что позволяет синхронно двигать, например, парой щупов. Обязательно следует учитывать, что для функционирования A-801 требуется как минимум один контроллер K-101 (питание и управление моторами).

Сам позиционер универсален по применению: в него можно установить как DC-зонд (простая игла для IV/CV), так и высокочастотный RF-держатель (через опциональные ВЧ (RF)-кронштейны RFA-010 или RFA-012 для восточного/западного или северного/южного направления соответственно). Это модульное решение: зондовый кронштейн не входит в комплект A-801, давая пользователю свободу выбора – оснастить позиционер нужным типом зонда под конкретный тест.

Магнитное основание оставлено, чтобы устройство можно было оперативно переставлять вручную при переналадке стенда, сохраняя совместимость с существующими столами. A-801 поддерживает непрерывное сканирование: можно задать программу, по которой пробник автоматически перемеряет несколько контактных точек (например, обход матрицы кристаллов на пластине) без вмешательства оператора. Это особенно полезно для массовых измерений или испытаний в условиях, где ручное управление затруднено (вакуумные камеры, термокамеры). Система также позволяет реализовать сложные сценарии, например, пошаговое прижатие пробника с контролем силы через внешние датчики, или автоматический уход в парковочное положение после измерения. Отличительной чертой A-801 является встроенная обратная связь: хотя люфт редуктора двигателя составляет ±5 μm, программные алгоритмы контроллера могут компенсировать его и достигать требуемой точности позиционирования.

Ключевые особенности

✔ Совместная синхронизация нескольких осей. Один контроллер управляет двумя позиционерами, позволяя координированно перемещать, например, парные щупы для дифференциального измерения, или выполнять параллельные действия (это сокращает общее время теста).

✔ Опции автоматизации и безопасности. В системе предусмотрены сценарии автопарковки щупа, ограничения по координатам, контролируемое усилие контакта (путем задания шага подхода) и другие функции, повышающие надежность эксплуатации. Позиционер может быть интегрирован с программным обеспечением зондовой станции для сбора данных без участия оператора.

✔ Высокая точность позиционирования < 2 μm. Шаговые/серводвигатели и прецизионные винтовые передачи обеспечивают разрешение, сопоставимое с ручными high-end моделями. Обратный люфт привода не превышает ±5 μм и компенсируется при калибровке, что гарантирует точное воспроизведение заданных координат.

Области применения

Автоматизированное wafer-тестирование: скрипты последовательного измерения параметров на множестве чипов или подложек. A-801 движется по заданным координатам, позволяя произвести большие серии измерений (сотни/тысячи точек) без усталости оператора – идеально для статистических выборок, картирования параметров по пластине.

Регулярные тесты и производство: контроль качества полупроводниковых пластин, требующий повторяющихся измерений на одних и тех же позициях. Позиционер по заданной программе возвращается к калиброванным координатам с нужной точностью, исключая различия между сменами операторов.

Тестирование в экстремальных условиях: использование внутри термокамеры или под колпаком, где прямой доступ человека ограничен. С A-801 можно дистанционно управлять щупом, проводя измерения при высоких/низких температурах или в инертной атмосфере, избегая открытия камеры.

Сложные многоконтактные измерения: когда требуется одновременно или последовательно подводить множество зондов (например, массив из 8 точек для тестирования памяти), моторизованные позиционеры упрощают задачу – один оператор через ПО позиционирует все пробники, вместо того чтобы вручную настраивать каждый.

Исследования с большим числом повторов: долговременные эксперименты, где нужно многократно измерять параметр в различных точках (например, изучение деградации устройства в 1000 циклах контактов) – автоманипулятор обеспечит воспроизводимость траектории и сведет к минимуму человеческий фактор.

Универсальность применения (DC/RF/mmWave)
Конструкция поддерживает установку различных держателей пробников: от обычных микроигл для DC тестов до коаксиальных ВЧ-держателей (опциональные модули RFA-010/EW и RFA-012/NS) и даже, потенциально, крепеж для миллиметроволновых зондов. Таким образом, один и тот же позиционер может быть перенастроен под нужный тип измерения.