Полуавтоматическая зондовая станция НИИПП Terra-200 / Terra-200T описание

Terra-200 — это полуавтоматическая зондовая станция, разработанная АО «НИИПП» для высокоточного измерения электрических параметров монолитных интегральных схем (МИС) на неразделённых полупроводниковых пластинах. Станция сочетает точную механику, элементы автоматизации и программное управление, что делает её оптимальным решением для исследовательских лабораторий, производственных подразделений и центров тестирования.

Загрузка пластин осуществляется вручную, после чего измерения проводятся полуавтоматически с помощью программного обеспечения ICC ProMeas, разработанного НИИПП. Станция обеспечивает высокую точность позиционирования (до 5 мкм), достигаемую за счёт использования оптических датчиков линейного перемещения. В состав станции входят цифровой микроскоп, оптоволоконный источник света, вакуумный насос, персональный компьютер и программное обеспечение с функциями автоматического выравнивания, распознавания меток и визуализации процесса измерения.

Terra-200 поддерживает установку микропозиционеров различного типа (AS101A, XP131M, AX131K), в том числе под многоконтактные зонды и Кельвиновские схемы подключения. Платформа станции обеспечивает высокую стабильность и позволяет работать с широким спектром СВЧ и НЧ-зондов.

Особенности конструкции:

• Режим работы: полуавтоматический с ручной загрузкой

• Автоматическое позиционирование с точностью до 5 мкм

• Оптические датчики линейного перемещения

• Встроенный цифровой микроскоп с возможностью захвата изображений

• Оптоволоконный источник освещения для высокой равномерности подсветки

• Совместимость с микропозиционерами AS101A, XP131M, AX131K

• Поддержка многоконтактных и коаксиальных зондов

• Вакуумный прижим пластины с насосом IVP401S

• Интеграция с ПО ICC ProMeas: автоматическое выравнивание, разметка, визуализация

Преимущества применения:

Станция Terra-200 позволяет существенно повысить скорость и точность измерений за счёт автоматизации ключевых операций: выравнивание пластины, позиционирование, распознавание меток, контроль результатов. Возможность работы в полуавтоматическом режиме позволяет исключить влияние человеческого фактора на измерения и обеспечивает стабильную повторяемость.

Платформа станции совместима с СВЧ- и НЧ-оснасткой, включая зонды Кельвина и модуляторы питания, что делает её универсальным инструментом для многофункциональных задач. За счёт локального производства и доступного сервиса на территории России, эксплуатационные издержки минимальны, а модификации по запросу заказчика возможны без существенных затрат.

Сравнение с зарубежными аналогами:

Характеристика	Terra-200 (НИИПП, Россия)	Summit 12000 (FormFactor, США)	MPI TS2000 (MPI Corp, Тайвань)	Semishare X8 (КНР)
Диаметр пластин	До 200 мм	До 200 мм	До 200 мм	До 200 мм
Режим работы	Полуавтоматический	Автомат / полуавтомат	Автомат / полуавтомат	Полуавтоматический
Температурная модификация	Terra-200T: –55…+150 °C	–60…+300 °C (через модули)	–60…+300 °C	–60…+200 °C
Точность позиционирования	До 5 мкм	До 1 мкм	До 1 мкм	2–5 мкм
Система выравнивания пластины	Автоматическая (с камерами)	Да
Вакуумный прижим	Есть (IVP401S)	Есть
Стоимость	Ниже 50 % от зарубежных аналогов	Высокая	Высокая	Средняя
Сервис и поддержка в РФ	Есть	Нет	Нет	Нет

Модификация Terra-200T — версия станции Terra-200 с температурным столиком

Terra-200T — это модификация полуавтоматической зондовой станции Terra-200, предназначенная для проведения электрических измерений на полупроводниковых пластинах в условиях контролируемых температур от –55 °C до +150 °C.

Данная модификация разработана специально для:

• испытаний изделий, эксплуатируемых в жёстких климатических или термонагруженных условиях;
• оценки параметров микросхем при температурных циклах (например, automotive, aerospace, mil-spec);
• валидации тепловой надёжности и долговечности электронных компонентов.

Ключевые отличия от базовой Terra-200:

• Встроенная термоплатформа с активным охлаждением и нагревом
• Контроллер температур и встроенные датчики для точного поддержания температурных режимов
• Интеграция терморегулирования в ПО ICC ProMeas с возможностью задания профилей температурных испытаний
• Расширенная комплектация с термозащитными экранами и изоляцией для безопасной работы оборудования
• Усиленные механические и контактные элементы, устойчивые к температурным градиентам

Модификация Terra-200T предназначена для проведения измерений электрических характеристик полупроводниковых приборов в условиях контролируемого нагрева или охлаждения. Станция используется в задачах, где необходимо проверить работу устройств при экстремальных температурах, включая испытания для автомобильной, космической и военной электроники. Terra-200T применяется на этапах научных исследований, в производственном контроле и в ходе квалификационных испытаний микросхем на стойкость к термическим нагрузкам. Возможность программной настройки температурных профилей и автоматического проведения измерений делает станцию эффективным инструментом для проведения долговременных термоциклических тестов и анализа температурной зависимости электрических параметров изделий.

Дополнительная комплектация Terra-200T включает:
• Термоплатформа с замкнутым контуром управления
• Цифровые температурные датчики (в комплекте с платой управления)
•  Защитные и теплоизолирующие элементы конструкции
•  Расширенные модули в ПО ICC ProMeas (термоконтроль, циклический прогрев/охлаждение)
•  Кабели, интерфейсы и ПО для связи с внешними измерительными приборами в терморежиме

•  Зондовая станция Terra-200 — 1 шт.
•  Цифровой микроскоп — 1 шт.
•  Оптоволоконный источник света — 1 шт.
•  Вакуумный насос IVP401S — 1 шт.
•  Персональный компьютер с предустановленным ПО ICC ProMeas
•  Микропозиционеры (по конфигурации): XP131M, AS101A, AX131K

•  Установка цифровой камеры и модуля обработки изображений
•  Аксессуары СВЧ-тракта и переходники
•  Специализированные держатели зондов (включая Кельвина)
•  Подключение к внешним приборам: Keysight, Keithley, Rohde & Schwarz и др.
•  Разработка индивидуальных алгоритмов измерений на языке C#

Эксплуатационные ограничения:
Станция предназначена для использования в закрытых лабораториях в условиях умеренного и холодного климата. Рабочая температура — от 0 до +40 °C, влажность — от 30 % до 85 %. Не допускается прямое солнечное освещение и перегрев свыше 60 °C.
АО «НИИПП» не несёт ответственности за повреждения оборудования, вызванные несоблюдением условий эксплуатации или нарушением правил техники безопасности.

За более подробной информацией и помощью в подборе оборудования Вы можете обращаться к нашим менеджерам любым удобным способом: воспользоваться формой обратной связи на сайте, по телефону: +7 (383) 203-10-00 или по e-mail: info@alfa-instr.ru.