Установка ST2258C представляет собой измерительный прибор, предназначенный для измерения удельного и поверхностного электрического сопротивления полупроводниковых материалов и тонких проводящих плёнок четырёхзондовым (четырёхконтактным) методом.
Прибор соответствует стандартам ASTM F 84-99, ASTM F 390-11, SEMI MF43, SEMI MF84, SEMI MF374.

Назначение:

• Измерение удельного электрического сопротивления (УЭС) полупроводниковых и нанокомпозитных материалов в виде пластин, шайб, слитков, а также образцов неправильной формы.
• Измерение поверхностного электрического сопротивления (ПЭС) диффузионных, эпитаксиальных и ионно-имплантированных слоёв полупроводниковых структур.
• Измерение сопротивления металлизации субмикронных и нанометровых толщин на полупроводниковых и диэлектрических материалах.
• Арбитражные измерения и производственный контроль кремниевой продукции.
• Измеритель
• Измерительный блок установки выполнен в корпусе из прочного алюминия и имеет компактные размеры 24,5 см (Ш) × 22 см (Г) × 10,5 см (В). Управление происходит с помощью кнопок, расположенных на передней панели. Информация выводится на экране 5-разрядного цифрового индикатора.

Испытательный стенд

Стойка-держатель SZT-C предназначена для подведения зондовой головки к образцу и позволяет избежать наклона и дрожания зондов при контакте с поверхностью образца. Образец размещается на электроизолированном предметном столе, размером 195 × 170 мм. Для настройки положения зондовой головки по высоте и для создания необходимого усилия прижима зондов к образцу предусмотрена специальная регулировочная гайка. Для быстрого подведения/отведения зондовой головки предусмотрен специальный рычаг.
Стойка-держатель SZT-C совместима со всеми зондовыми головками компании JG.